對(duì)于一般廠家來說，等離子體是不是物質(zhì)采用等離子膠技術(shù)，可以將化學(xué)溶液的用量減少千倍以上，不僅環(huán)保，而且為企業(yè)節(jié)省了大量的資金。。半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)在晶圓清洗中的應(yīng)用:隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)工藝技術(shù)的要求越來越高，特別是對(duì)半導(dǎo)體芯片的表面質(zhì)量。主要原因是芯片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)的污染會(huì)嚴(yán)重影響器...
